PRODUCT

SEC-E40 Series

SSEC-E40 시리즈는 가격 경쟁력이 뛰어난 모델이며, N2기준 최소 0.2SCCM부터 대유량 500SLM까지 제어가능

SEC-E400J Series

Metal Seal을 적용한 모델로 가격 경쟁력이 뛰어나며, 부식 및 독성가스에 적합한 모델 에러알람기능 탑재

FTIR-FG-100 Series

FG-100 series는, 지구 온난화 방지 때문에 요청되는 온실효과 가스, PFCs를 비롯해, 각종반도체·FPD process 가스등의 다양한 분석을 가능하게 한 FTIR가스 분석계입니다.

Liquid Mass Flow Meter

세계최초 냉각방법을 이용한 센서 장착
(저온기화물질 제어에 탁월)

마이크로 유랑부터 대용량까지 컨트롤 가능

MFC Readout Unit(SC-100)

MFC(Mass Flow Controller)
에 Power를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage(0~5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는 장치 입니다.

 

 

 

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